NAGANO KEIKISemiconductor
[Nagano Keiki] GW35 (35￠) / GW45 (40￠) Pressure Gauge for Semiconductor Industry
GW35 / GW45
GW35 및 GW45는 고순도 반도체 가스 공정 및 부식성 가스 환경에 최적화된 소형 압력계입니다. 아르곤 아크 용접과 엄격한 품질 관리를 거쳐 탁월한 기밀성과 청정도를 제공하며, 주요 부품에 스테인리스강을 적용해 내식성이 뛰어납니다.
Specifications
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Key Features
- 1. 고청정 제조 및 관리: EP 등급의 경우 0.2μm 이상의 파티클을 10개 이하로 엄격히 제한하며, 여러 단계의 세정 및 N₂ 가스 플러싱을 거쳐 고순도 가스 측정에 적합합니다
- 2. 완벽한 기밀성: 헬륨 리크율 1.01×10⁻⁹ Pa·m³/s 이하의 기밀성을 보장하며, 부르동관 등 압력 감지 접액부를 아르곤 아크(Argon arc) 용접으로 견고하게 밀봉했습니다
- 3. 뛰어난 내식성: 부르동관과 연결부(SUS316L), 케이스(SUS304), 무브먼트 등 기기 내부의 주요 부품을 스테인리스강으로 제작하여 부식성 환경에 강합니다
- 4. 맞춤형 청정도 등급 (BA/EP): 사용 공정의 요구 수준에 맞춰 BA(Bright Annealing) 등급 또는 가스 접촉면이 연마된 EP(Electro Polishing) 등급을 유연하게 선택할 수 있습니다
- 5. 초소형 및 경량 설계: φ35(약 75g) 및 φ40(약 90g)의 작고 가벼운 규격으로 제공되어, 반도체 제조 장비 내부의 협소한 공간에도 쉽게 장착할 수 있습니다