반도체 제조 솔루션

고순도 가스, 진공 및 화학 공정을 위한 업계 표준 계측 장비를 제공합니다. 글로벌 최고 수준의 반도체 장비 제조사들과 파트너십을 맺고 있습니다.

반도체 산업 적용 분야

특수 가스의 정밀한 흐름 제어를 보장하는 초고순도(UHP) 압력 센서 솔루션.

반도체 공정에 사용되는 고순도 화학물질 및 슬러리의 공급 라인을 안정적으로 모니터링하는 내식성 특화 계측 솔루션.

반도체 팹 내 청정 공기 공급 및 공조 시스템의 압력과 차압을 정밀하게 모니터링하는 계측 솔루션.

반도체 클린룸 내 미세 차압 및 환경 변화를 정밀하게 감지하여 오염 없는 공정 환경을 유지하는 계측 솔루션.

반도체 세정 공정에 사용되는 고순도 약액과 초순수(DIW)의 압력을 정밀하게 제어하는 내식성 계측 솔루션.

나노미터 수준의 초정밀 패터닝 공정을 위해 노광 장비 내 압력과 진공 환경을 안정적으로 유지하는 계측 솔루션.

CVD·PVD 등 박막 증착 공정에서 챔버 내 가스 압력과 진공도를 정밀하게 제어하는 계측 솔루션.

반도체 공정에 최적화된 압력 계측 솔루션을 찾고 계신가요? 전문 엔지니어가 공정 환경에 맞는 제품을 안내해드립니다.