NAGANO KEIKISemiconductor
[Nagano Keiki] Pressure Gauge for Semiconductor Industry (GW28)
GW28-1E4
GW28은 고순도 반도체 공정 및 부식성 가스 환경에 최적화된 28mm 직경의 초소형 압력계입니다. 높은 기밀성과 청정도를 자랑하며, 비좁은 공간에서도 효율적으로 장착할 수 있도록 설계되었습니다.
Specifications
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Key Features
- 1. 초소형 공간 절약 설계: 28mm의 매우 작은 직경(φ28)을 채택하여 반도체 장비 내 일체형 장착 시 설치 공간을 크게 절약할 수 있습니다
- 2. 세정 및 가스 플러싱 용이: 기존의 C형 부르동관과 달리 접액부가 단순한 다이아프램(Diaphragm) 구조로 설계되어 있어, 사용자가 내부 세정 및 가스 플러싱을 쉽게 수행할 수 있습니다
- 3. 가스 체류 방지 (포켓 최소화): 접액부 주변의 내부 용적을 기존 소형 게이지의 약 절반 수준으로 줄여, 가스가 고이는 포켓(Pocket) 공간을 실질적으로 제거했습니다
- 4. 고청정 등급 지원 (BA/EP): BA(Bright Annealing) 및 EP(Electro Polishing) 등급을 선택할 수 있으며, 특히 EP 등급은 0.2μm 이상의 파티클을 10개 이하로 엄격하게 관리합니다
- 5. 완벽한 밀폐 및 기밀성 보장: 헬륨 리크율 1.01×10⁻⁹ Pa·m³/s 이하의 극대화된 기밀성을 제공하며, 접액부는 아르곤 아크 용접(Argon arc welded)으로 견고하게 밀봉되어 가스 누출을 방지합니다