![[Nagano Keiki] ZT17 - High Temperature Pressure Sensor (Suitable for 200℃)](/_next/image?url=https%3A%2F%2Fgxarexlgeaxpcnawyywz.supabase.co%2Fstorage%2Fv1%2Fobject%2Fpublic%2FProducts%2Fimage_1775787186083_fbggyu.png&w=3840&q=75)
NAGANO KEIKISemiconductor
[Nagano Keiki] ZT17 - High Temperature Pressure Sensor (Suitable for 200℃)
나가노 케이키 ZT17은 반도체 제조 공정의 고온 환경에 특화되도록 설계된 고온용 압력 센서로, 전용 앰프와 분리된 구조를 통해 최대 200℃의 극고온에서도 안정적이고 정밀하게 압력을 측정할 수 있는 제품입니다
Specifications
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Key Features
- 1. 200℃ 고온 환경 측정 지원: 새롭게 개발된 압력 센서 소자를 탑재하여, 센서 헤드 및 케이블부가 최대 200℃의 고온 환경에서도 안정적으로 작동합니다
- 2. 고온에서도 유지되는 고정밀도: 15~200℃의 넓은 온도 보상 범위 내에서 영점(Zero) ±1.0% F.S., 스팬(Span) ±3.0% F.S.의 향상된 온도 특성을 발휘하며, 실온(23℃) 기준으로는 ±0.5% F.S.의 뛰어난 정확도를 제공합니다
- 3. 측정 가스 잔류 최소화: 가스 공급 시스템에 가장 적합한 용접 구조(Welded structure)를 채택하고 특수 표면 처리 기술을 적용하여 정밀 공정 중 가스가 내부에 잔류하는 문제를 최소화했습니다
- 4. 초고순도 공정 맞춤형 (EP 등급): 가스와 닿는 압력 센서 및 피팅부 전체를 SUS316L 재질로 제작했습니다. 0.1μm 크기 이상의 파티클이 발생하지 않도록 클린룸에서 엄격히 관리되어 초고순도 가스는 물론 부식성, 독성이 있는 반도체 가스 측정에 완벽히 대응합니다
- 5. 독립된 전용 앰프 및 외부 영점 조절 편의성: 측정부와 분리된 전용 앰프(작동 온도 -20~50℃)를 통해 신호를 처리하며, 앰프 측면에 외부 영점 조절기(External zero adjustment)가 장착되어 있어 설치 및 유지보수 조작이 편리합니다