![[Nagano Keiki] ZT15 - Pressure Transmitters for Semiconductor Industry](/_next/image?url=https%3A%2F%2Fgxarexlgeaxpcnawyywz.supabase.co%2Fstorage%2Fv1%2Fobject%2Fpublic%2FProducts%2Fimage_1775708399862_wr8twc.png&w=3840&q=75)
NAGANO KEIKISemiconductor
[Nagano Keiki] ZT15 - Pressure Transmitters for Semiconductor Industry
나가노 케이키 ZT15는 증착형 반도체 스트레인 게이지(Evaporation coating type semiconductor strain gauge) 센서와 내장된 전자 회로를 통해 압력을 전기 신호로 변환하는 반도체 산업 전용 압력 전송기입니다. 고순도 가스 라인에 적합한 UC/EP 등급과 배관 비용 절감을 위한 BA/GP 등급으로 나뉘어 제공되며, 클린룸에서 엄격하게 조립 및 관리됩니다
Specifications
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Key Features
- 1. 우수한 내부식성과 기밀성: Co-Ni 합금 또는 SUS316L 재질로 제작된 고내식성 압력 센서를 피팅에 직접 용접하여 결합함으로써, 부식성 가스 환경에서도 탁월한 기밀성과 장기적인 신뢰성을 발휘합니다
- 2. 고청정 공정 및 파티클 관리: 모든 제품은 클린룸 환경에서 조립, 조정, 검사, 포장됩니다. 특히 UC(Ultra Clean) 및 EP(Electro Polishing) 등급 모델은 0.1μm 크기 이상의 파티클이 발생하지 않도록(Zero count) 관리되어 고순도 가스 측정에 매우 적합합니다
- 3. 가스 오염 방지 설계: 기기 내부에 유체가 고이거나 잔류할 수 있는 사공간(Dead space)이 거의 없도록 설계되어, 정밀한 반도체 공정에서 발생할 수 있는 가스 오염 위험을 원천적으로 차단합니다
- 4. 목적에 맞춘 4가지 등급 제공: 초고순도 반도체 가스 측정에 특화된 UC 및 EP 등급과 함께, 기밀성을 유지하면서도 퍼지 가스 및 배기 가스 라인 등에서 경제적으로 사용할 수 있는 BA(Bright Annealing) 및 GP(General Purpose) 등급을 맞춤형으로 제공합니다
- 5. 다양한 출력 및 CE 인증 규격: 4~20mA DC(2선식) 또는 1~5V DC(3선식)의 아날로그 출력 방식을 제공하여 현장 상황에 맞게 결선할 수 있습니다. 또한, 특정 모델군을 제외한 대부분의 기기가 유럽 CE 마크(EN61326-1, EN61326-2-3 표준)를 획득하여 전자기파 호환성을 입증했습니다.