NAGANO KEIKISemiconductor
[Nagano Keiki] ZT11 - Pressure Sensor for the Semiconductor Industry
나가노 케이키 ZT11은 박막 반도체 스트레인 게이지를 적용한 반도체 산업용 압력 센서입니다 . 클린룸에서 조립 및 세정되며 , 안전증 방폭(Ex ec) 라인업을 제공하여 가스 측정 시의 기기 안전성을 크게 높인 것이 특징입니다
Specifications
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Key Features
- 1. 반도체 공정용 고청정 설계: 클린룸 내에서 조립, 조정, 포장을 거치며, 0.1μm 이상 크기의 파티클 제로(Zero count)를 달성하여 고순도 가스 측정에 매우 적합합니다
- 2. 다양한 등급과 내식성 재질: 범용(GP), 전해 연마(EP), 초고순도(UHP) 등급을 지원하며, 접액부는 SUS316L 또는 내부식성이 뛰어난 하스텔로이(Hastelloy® C-22) 동등 재질을 제공합니다
- 3. 글로벌 안전증 방폭 인증: IECEx, ATEX, KCs, NEPSI 등 국내외 주요 방폭 인증(Ex ec IIC T4/T5/T6 Gc)을 획득하여, Zone 2 위험 지역에서 안전 배리어 없이도 사용할 수 있습니다
- 4. 작업성 향상 설계: 기기 측면에 영점 조절(Zero adjustment) 메커니즘을 배치하여 설치 현장에서의 조작 및 유지보수 작업이 한층 편리해졌습니다
- 5. 정밀도 및 피팅 호환성: ±0.25% F.S.의 우수한 측정 정확도를 보장하며, VCR®, UJR™, C-Seal 표면 실장형 등 반도체 장비 규격에 맞는 다채로운 일체형 피팅 구조를 지원합니다