NAGANO KEIKISemiconductorGeneral
[Nagano Keiki] ZT67 - Compact Digital Pressure Gauge for Semiconductor Industry)
ZT67은 반도체 산업용으로 설계된 초소형 디지털 압력계로, 등급별(UC Grade부터 일반용까지) 라인업을 갖추고 있습니다. 기존 디지털 압력계보다 훨씬 작고 가독성이 뛰어난 고신뢰성 압력 센서를 탑재하여 반도체 제조 공정의 가스 측정에 최적화된 기기입니다.
Specifications
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Key Features
- 1. 초소형 및 우수한 시인성: 30mm의 콤팩트한 본체 크기에 문자 높이 10mm의 대형 LED 디스플레이를 적용하여 좁은 공간에서도 압력 수치를 쉽게 확인할 수 있습니다.
- 2. 높은 내부식성 및 신뢰성: Co-Ni 합금 또는 SUS316L 재질의 압력 센서가 316L 스테인리스 스틸 커플링부에 직접 용접되어 있어, 뛰어난 내부식성, 기밀성 및 안정성을 제공합니다.
- 3. 다양한 출력 기능: 2개의 독립적인 NPN 오픈 콜렉터 출력(비교기 출력)을 기본으로 제공하며, 옵션으로 1~5V DC의 아날로그 출력을 선택할 수 있습니다.
- 4. 철저한 청정도 관리: 제품의 조립, 조정, 검사 및 포장 공정이 클린룸 내에서 이루어져 반도체 공정에서 요구되는 엄격한 청결 기준을 만족합니다.
- 5. 편의 기능 탑재: 최대/최소 압력을 기록하는 피크·바텀 홀드(Peak/Bottom Hold) 기능, 전면 키를 이용한 영점 조절 기능 및 설정 오작동을 방지하는 키 잠금 기능을 갖추고 있습니다.