NAGANO KEIKISemiconductor
[Nagano Keiki] KL92 - Pressure Transmitter for Semiconductor Production Appliance Chemical-Resistance
KL92-1 / KL92-2
나가노 케이키 KL92는 반도체 제조 산업의 압력 모니터링에 적합하도록 설계된 불소 수지 다이아프램 씰(Fluoropolymers diaphragm seal) 타입의 압력 전송기입니다. O-Ring이 없는(O-ring-free) 구조를 채택하여 금속 용출 및 오염 위험을 최소화한 것이 특징입니다
Specifications
Loading PDF Viewer...
Key Features
- 1. 고순도 불소 수지 접액부: 압력 측정 유체와 닿는 접액부 전체를 PFA 및 PTFE 등의 불소 수지로 제작하여 오염 물질 발생 위험을 극적으로 줄였습니다
- 2. 탁월한 내화학성 및 수명 연장: 불산(Hydrofluoric acid)과 같은 강한 부식성 화학 물질에 대한 내식성이 향상되었습니다. 특히 내부식성 가스를 외부로 배출하는 벤트 홀(Vent hole) 구조를 적용하여 부식성 가스로부터 센서 회로를 보호하고 기기의 수명을 연장시켰습니다
- 3. 콤팩트 설계 및 방수 구조: 콤팩트한 수지 바디에 케이블 끝단을 제외하고 IP54(스플래시 프루프) 등급의 방수/방진 구조를 갖추어, 웨트 스테이션(Wet station)과 같은 장비의 요구 사항을 완벽히 충족합니다
- 4. 다양한 출력 및 연결 방식 지원: 2선식(4~20mA DC) 및 3선식(1~5V DC) 아날로그 출력을 지원하며, 설치 환경에 따라 인라인(In-line) 타입 및 단일 포트(Single port) 연결 방식을 유연하게 선택할 수 있습니다
- 5. 반도체 및 FPD 공정 최적화: 우수한 오염 방지 및 내화학 성능을 바탕으로 반도체 세정 장비, FPD 세정 장비, 화학 약품 공급 장치 및 웨트 스테이션 등에 적용하기에 매우 적합합니다