NAGANO KEIKISemiconductor
[Nagano Keiki] KL91 Pressure Transmitter for Ultra Water of Semiconductor Production Appliances
KL91-161
KL91은 반도체 제조 장비의 초순수(Ultrapure water) 측정에 최적화된 압력 전송기입니다. 접액부 전체를 불소 수지(Fluorine resin)로 제작해 금속 이온 용출과 오염을 최소화했으며, 정전용량형 센서를 탑재해 저압 및 부압 측정에 탁월합니다.
Specifications
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Key Features
- 1. 고청정 불소 수지 접액부: 세라믹 다이아프램에 불소 수지 필름을 다중 적층하여 금속 이온 용출 및 파티클 오염 발생을 강력하게 억제합니다
- 2. 고성능 정전용량 센서: 온도 특성이 우수한 정전용량형 센서를 내장하여 정밀한 측정(±1.0% F.S.)을 제공합니다
- 3. 오염 방지 구조 설계: 내부에 오염 물질이 고일 수 있는 포켓(Pocket) 공간을 최소화하도록 설계되어 반도체 및 FPD 세정 장비에 매우 적합합니다
- 4. 다양한 배관 연결 지원: 인라인(In-line) 및 스트레이트(Straight) 연결 타입을 제공하며, 인라인의 경우 최대 1인치 관경 규격까지 장착할 수 있습니다
- 5. 견고한 내구성과 인증: IP65(제트 방수) 등급의 밀폐 구조를 갖추어 수분으로부터 기기를 보호하며, 유럽 CE 마크(EMC 지침)를 준수하여 안전성을 입증했습니다