NAGANO KEIKISemiconductor
[Nagano Keiki] Pressure Gauge for Semiconductor Industry (GW Series)
GW17 / GW27
GW 모델은 고순도 반도체 가스 공정 및 부식성 가스 환경에 적합하게 설계된 고청정 압력계입니다. 주요 부품에 스테인리스강을 적용해 내식성이 뛰어나며, 엄격한 기밀성과 청정도 관리를 거쳐 생산됩니다
Specifications
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Key Features
- 1. 고청정 제조 공정: 클린룸(Class 10,000) 조립, 헬륨 리크 테스트, 초음파 세정을 거치는 A등급 모델을 제공하여 고순도 가스 측정에 적합합니다
- 2. 우수한 내식성: 부르동관, 소켓 등 유체와 닿는 접액부(SUS316 또는 SUS316L)와 케이스(SUS304)를 모두 내부식성이 뛰어난 스테인리스강으로 제작했습니다
- 3. 정밀한 기밀성: 접액부를 아르곤 아크 용접으로 밀봉하고, 제조 과정에서 금유 및 금수(No oil & water) 처리를 적용하여 오염과 누출을 원천 차단합니다
- 4. 안전 설계: 과압으로 인해 부르동관이 파손되더라도 전면 유리가 깨지는 것을 방지하는 블로우 아웃 디스크(Blowout disc)가 장착되어 있어 작업자를 안전하게 보호합니다
- 5. 특수 거울면 마감 지원: GW2□ 모델 라인업의 경우, 가스와 접촉하는 내부 표면을 특수 거울면 마감(Special mirror-finished) 처리하여 청정도를 극대화할 수 있습니다